Wie China sein „Manhattan-Projekt" aufbaute, um im Wettbewerb um KI-Chips mit dem Westen zu konkurrieren

SINGAPUR – In einem Hochsicherheitslabor in Shenzhen haben chinesische Wissenschaftler etwas gebaut, was Washington seit Jahren zu verhindern versucht: einen Prototyp einer Maschine, die in der Lage ist, hochmoderne Halbleiterchips zu produzieren, die künstliche Intelligenz, Smartphones und Waffen antreiben, die für die westliche militärische Dominanz von zentraler Bedeutung sind, wie Reuters erfahren hat.

Der Prototyp wurde Anfang 2025 fertiggestellt und wird derzeit getestet. Er füllt fast eine gesamte Fabrikhalle. Er wurde von einem Team ehemaliger Ingenieure des niederländischen Halbleiterriesen ASML gebaut, die die Extreme-Ultraviolett-Lithographiemaschinen oder EUVs des Unternehmens mittels Reverse Engineering nachgebaut haben, so zwei Personen mit Kenntnis des Projekts.

EUV-Maschinen stehen im Zentrum eines technologischen Kalten Krieges. Sie verwenden Strahlen aus extremem Ultraviolettlicht, um Schaltkreise zu ätzen, die tausendmal dünner sind als ein menschliches Haar, auf Siliziumwafer – derzeit eine Fähigkeit, die vom Westen monopolisiert wird. Je kleiner die Schaltkreise, desto leistungsfähiger die Chips.

Chinas Maschine ist betriebsbereit und erzeugt erfolgreich extremes Ultraviolettlicht, hat aber noch keine funktionierenden Chips produziert, sagten die Personen.

Im April sagte ASML-CEO Christophe Fouquet, dass China „viele, viele Jahre" brauchen würde, um eine solche Technologie zu entwickeln. Aber die Existenz dieses Prototyps, über die Reuters zum ersten Mal berichtet, deutet darauf hin, dass China der Erreichung der Halbleiterunabhängigkeit Jahre näher sein könnte, als Analysten erwartet hatten.

Dennoch steht China noch vor großen technischen Herausforderungen, insbesondere bei der Replikation der Präzisionsoptiksysteme, die westliche Zulieferer herstellen.

Die Verfügbarkeit von Teilen älterer ASML-Maschinen auf Sekundärmärkten hat es China ermöglicht, einen inländischen Prototyp zu bauen, wobei die Regierung das Ziel gesetzt hat, bis 2028 funktionierende Chips auf dem Prototyp zu produzieren, so die beiden Personen.

Aber diejenigen, die dem Projekt nahe stehen, sagen, dass ein realistischeres Ziel 2030 ist, was immer noch Jahre früher ist als das Jahrzehnt, von dem Analysten glaubten, es würde China brauchen, um mit dem Westen bei Chips gleichzuziehen.

Chinesische Behörden reagierten nicht auf Kommentaranfragen.

Der Durchbruch markiert den Höhepunkt einer sechsjährigen Regierungsinitiative zur Erreichung der Halbleiter-Selbstversorgung, eine der höchsten Prioritäten von Präsident Xi Jinping. Während Chinas Halbleiterziele öffentlich waren, wurde das Shenzhen-EUV-Projekt im Geheimen durchgeführt, so die Personen.

Das Projekt fällt unter die Halbleiterstrategie des Landes, die laut staatlichen Medien von Xi Jinpings Vertrautem Ding Xuexiang geleitet wird, der der Zentralen Wissenschafts- und Technologiekommission der Kommunistischen Partei vorsteht.

Der chinesische Elektronikriese Huawei spielt eine Schlüsselrolle bei der Koordinierung eines Netzwerks von Unternehmen und staatlichen Forschungsinstituten im ganzen Land, an dem Tausende von Ingenieuren beteiligt sind, so die beiden Personen und eine dritte Quelle.

Die Personen beschrieben es als Chinas Version des Manhattan-Projekts, der US-Kriegsanstrengung zur Entwicklung der Atombombe.

„Das Ziel ist es, dass China letztendlich in der Lage sein wird, fortschrittliche Chips auf Maschinen herzustellen, die vollständig in China hergestellt werden", sagte eine der Personen. „China will die Vereinigten Staaten zu 100% aus seinen Lieferketten herauswerfen."

Huawei, der Staatsrat Chinas, die chinesische Botschaft in Washington und Chinas Ministerium für Industrie und Informationstechnologie reagierten nicht auf Kommentaranfragen.

Bis jetzt hat nur ein Unternehmen die EUV-Technologie gemeistert: ASML mit Hauptsitz in Veldhoven, Niederlande. Seine Maschinen, die rund 250 Millionen Dollar kosten, sind unverzichtbar für die Herstellung der fortschrittlichsten Chips, die von Unternehmen wie Nvidia und AMD entwickelt – und von Chipherstellern wie TSMC, Intel und Samsung produziert werden.

ASML baute seinen ersten funktionierenden Prototyp der EUV-Technologie im Jahr 2001 und teilte Reuters mit, dass es fast zwei Jahrzehnte und Milliarden Euro an F&E-Ausgaben dauerte, bis es 2019 seine ersten kommerziell verfügbaren Chips produzierte.

„Es macht Sinn, dass Unternehmen unsere Technologie replizieren wollen, aber das zu tun ist keine Kleinigkeit", teilte ASML Reuters in einer Stellungnahme mit.

ASMLs EUV-Systeme sind derzeit für US-Verbündete wie Taiwan, Südkorea und Japan verfügbar.

Ab 2018 begann die Vereinigten Staaten, die Niederlande unter Druck zu setzen, ASML am Verkauf von EUV-Systemen an China zu hindern. Die Beschränkungen wurden 2022 ausgeweitet, als die Biden-Administration umfassende Exportkontrollen verhängte, die darauf abzielten, Chinas Zugang zu fortschrittlicher Halbleitertechnologie zu unterbinden. Kein EUV-System wurde jemals an einen Kunden in China verkauft, teilte ASML Reuters mit.

Die Kontrollen zielten nicht nur auf EUV-Systeme ab, sondern auch auf ältere Deep-Ultraviolett (DUV)-Lithographiemaschinen, die weniger fortschrittliche Chips wie die von Huawei produzieren, mit dem Ziel, China bei den Chipfertigungskapazitäten mindestens eine Generation zurückzuhalten.

Das US-Außenministerium sagte, die Trump-Administration habe die Durchsetzung von Exportkontrollen für fortschrittliche Halbleiterfertigungsausrüstung verschärft und arbeite mit Partnern zusammen, „um Schlupflöcher zu schließen, während die Technologie voranschreitet."

Das niederländische Verteidigungsministerium sagte, die Niederlande entwickelten Richtlinien, die „Wissensinstitutionen" verpflichten, Personalüberprüfungen durchzuführen, um den Zugang zu sensiblen Technologien „durch Personen mit bösen Absichten oder die Gefahr laufen, unter Druck gesetzt zu werden" zu verhindern.

Exportbeschränkungen haben Chinas Fortschritte in Richtung Halbleiter-Selbstversorgung seit Jahren verlangsamt und die fortschrittliche Chipproduktion bei Huawei eingeschränkt, sagten die beiden Personen und eine dritte Person.

Die Quellen sprachen unter der Bedingung, nicht identifiziert zu werden, aufgrund der Vertraulichkeit des Projekts.

Chinas Manhattan-Projekt

Ein erfahrener chinesischer Ingenieur von ASML, der für das Projekt rekrutiert wurde, war überrascht festzustellen, dass sein großzügiger Unterzeichnungsbonus mit einer unter einem falschen Namen ausgestellten Identitätskarte kam, so eine der Personen, die mit seiner Rekrutierung vertraut war.

Einmal drinnen, erkannte er andere ehemalige ASML-Kollegen, die ebenfalls unter Pseudonymen arbeiteten, und wurde angewiesen, ihre falschen Namen bei der Arbeit zu verwenden, um die Geheimhaltung zu wahren, sagte die Person. Eine andere Person bestätigte unabhängig, dass Rekruten falsche Ausweise erhielten, um ihre Identitäten vor anderen Arbeitern in der gesicherten Einrichtung zu verbergen.

Die Anweisung war klar, sagten die beiden Personen: Als nationale Sicherheit eingestuft, durfte niemand außerhalb des Geländes wissen, was sie bauten – oder dass sie überhaupt dort waren.

Das Team umfasst kürzlich pensionierte, in China geborene ehemalige ASML-Ingenieure und Wissenschaftler – bevorzugte Rekrutierungsziele, weil sie über sensibles technisches Wissen verfügen, aber nach dem Verlassen des Unternehmens weniger beruflichen Einschränkungen unterliegen, sagten die Personen.

Zwei aktuelle ASML-Mitarbeiter chinesischer Nationalität in den Niederlanden teilten Reuters mit, dass sie seit mindestens 2020 von Personalvermittlern von Huawei kontaktiert wurden.

Huawei reagierte nicht auf Kommentaranfragen.

Europäische Datenschutzgesetze begrenzen die Fähigkeit von ASML, ehemalige Mitarbeiter zu verfolgen. Obwohl Mitarbeiter Geheimhaltungsvereinbarungen unterzeichnen, hat sich die grenzüberschreitende Durchsetzung als schwierig erwiesen.

ASML gewann 2019 ein Urteil über 845 Millionen Dollar gegen einen ehemaligen chinesischen Ingenieur, der beschuldigt wurde, Geschäftsgeheimnisse gestohlen zu haben, aber der Angeklagte meldete Insolvenz an und arbeitet weiterhin in Peking mit Unterstützung der chinesischen Regierung, so Gerichtsdokumente.

ASML teilte Reuters mit, dass es Geschäftsgeheimnisse und vertrauliche Informationen „wachsam schützt".

„Während ASML nicht kontrollieren oder einschränken kann, wo ehemalige Mitarbeiter arbeiten, sind alle Mitarbeiter an die Vertraulichkeitsklauseln in ihren Verträgen gebunden", sagte das Unternehmen, und es habe „erfolgreich rechtliche Schritte als Reaktion auf den Diebstahl von Geschäftsgeheimnissen eingeleitet."

Reuters konnte nicht feststellen, ob rechtliche Schritte gegen ehemalige ASML-Mitarbeiter eingeleitet wurden, die an Chinas Lithographieprogramm beteiligt waren.

Das Unternehmen sagte, es schütze EUV-Wissen, indem es sicherstellt, dass nur ausgewählte Mitarbeiter auch innerhalb des Unternehmens auf die Informationen zugreifen können.

Der niederländische Geheimdienst warnte in einem Bericht vom April, dass China „umfangreiche Spionageprogramme in seinen Versuchen einsetzte, fortschrittliche Technologie und Wissen aus westlichen Ländern zu erlangen", einschließlich der Rekrutierung „westlicher Wissenschaftler und Mitarbeiter von High-Tech-Unternehmen."

Die ASML-Veteranen ermöglichten den Durchbruch in Shenzhen, sagten die Personen. Ohne ihre intime Kenntnis der Technologie wäre das Reverse Engineering der Maschinen nahezu unmöglich gewesen.

Ihre Rekrutierung war Teil eines aggressiven Vorstoßes, den China 2019 für im Ausland arbeitende Halbleiterexperten startete und Unterzeichnungsboni anbot, die bei 3 Millionen bis 5 Millionen Yuan (420.000 bis 700.000 Dollar) begannen, sowie Hauskaufzuschüsse, so eine Reuters-Überprüfung von Regierungspolitikdokumenten.

Zu den Rekruten gehörte Lin Nan, ASMLs ehemaliger Leiter der Lichtquellentechnologie, dessen Team am Shanghai Institute of Optics der Chinesischen Akademie der Wissenschaften acht Patente für EUV-Lichtquellen in 18 Monaten eingereicht hat, so Patentanmeldungen.

Das Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics reagierte nicht auf Kommentaranfragen. Lin konnte für einen Kommentar nicht erreicht werden.

Zwei weitere Personen, die mit Chinas Rekrutierungsbemühungen vertraut sind, sagten, dass einige eingebürgerte Bürger anderer Länder chinesische Pässe erhielten und die doppelte Staatsbürgerschaft beibehalten durften.

China verbietet offiziell die doppelte Staatsbürgerschaft und beantwortete keine Fragen zur Ausstellung von Pässen.

Chinesische Behörden reagierten nicht auf Kommentaranfragen.

In Chinas EUV-Fabrik

ASMLs fortschrittlichste EUV-Systeme sind ungefähr so groß wie ein Schulbus und wiegen 180 Tonnen. Nach fehlgeschlagenen Versuchen, seine Größe zu replizieren, wurde der Prototyp im Shenzhen-Labor um ein Vielfaches größer, um seine Leistung zu verbessern, so die beiden Personen.

Der chinesische Prototyp ist im Vergleich zu ASMLs Maschinen primitiv, aber ausreichend betriebsbereit für Tests, sagten die Personen.

Chinas Prototyp hinkt ASMLs Maschinen hauptsächlich hinterher, weil Forscher Schwierigkeiten hatten, optische Systeme wie die von Deutschlands Carl Zeiss AG, einem der Hauptlieferanten von ASML, zu erhalten, sagten die beiden Personen.

Zeiss lehnte eine Stellungnahme ab.

Die Maschinen feuern Laser 50.000 Mal pro Sekunde auf geschmolzenes Zinn und erzeugen Plasma bei 200.000 Grad Celsius. Das Licht wird mit Spiegeln fokussiert, deren Herstellung Monate dauert, so die Website von Zeiss.

Chinas führende Forschungsinstitute haben Schlüsselrollen bei der Entwicklung selbst entwickelter Alternativen gespielt, so die beiden Personen.

Das Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics der Chinesischen Akademie der Wissenschaften (CIOMP) erzielte einen Durchbruch bei der Integration von extremem Ultraviolettlicht in das optische System des Prototyps, wodurch er Anfang 2025 betriebsbereit wurde, sagte eine der Personen, obwohl die Optik noch erhebliche Verfeinerung erfordert.

CIOMP reagierte nicht auf Kommentaranfragen.

In einem Online-Rekrutierungsaufruf vom März auf seiner Website sagte das Institut, es biete „unbegrenzte" Gehälter für PhD-Lithographieforscher und Forschungsstipendien im Wert von bis zu 4 Millionen Yuan (560.000 Dollar) plus 1 Million Yuan (140.000 Dollar) an persönlichen Zuschüssen.

Jeff Koch, ein Analyst bei der Forschungsfirma SemiAnalysis und ein ehemaliger ASML-Ingenieur, sagte, China werde „bedeutenden Fortschritt" erzielt haben, wenn die „Lichtquelle genug Leistung hat, zuverlässig ist und nicht zu viel Kontamination erzeugt."

„Zweifellos ist dies technisch machbar, es ist nur eine Frage des Zeitplans", sagte er. „China hat den Vorteil, dass kommerzielle EUV jetzt existiert, also fangen sie nicht bei Null an."

Um die erforderlichen Teile zu erhalten, birgt China Komponenten aus älteren ASML-Maschinen und beschafft Teile von ASML-Lieferanten über Sekundärmärkte, sagten die beiden Personen.

Netzwerke von Vermittlungsunternehmen werden manchmal verwendet, um den letztendlichen Käufer zu verschleiern, sagten die Personen.

Exportbeschränkte Komponenten von Japans Nikon und Canon werden für den Prototyp verwendet, sagten eine der Personen und eine zusätzliche Quelle.

Nikon lehnte eine Stellungnahme ab. Canon sagte, es sei sich solcher Berichte nicht bewusst. Die japanische Botschaft in Washington reagierte nicht auf eine Kommentaranfrage.

Internationale Banken versteigern regelmäßig ältere Halbleiterfabrikationsausrüstung, sagten die Quellen. Auktionen in China verkauften noch im Oktober 2025 ältere ASML-Lithographieausrüstung, so eine Überprüfung von Einträgen auf Alibaba Auction, einer Alibaba-eigenen Plattform.

Ein Team von etwa 100 frischgebackenen Hochschulabsolventen konzentriert sich auf das Reverse Engineering von Komponenten sowohl von EUV- als auch von DUV-Lithographiemaschinen, so die Personen.

Der Schreibtisch jedes Arbeiters wird von einer individuellen Kamera gefilmt, um ihre Bemühungen zu dokumentieren, Teile zu zerlegen und wieder zusammenzubauen – Arbeit, die die Personen als Schlüssel zu Chinas Lithographiebemühungen beschrieben.

Mitarbeiter, die erfolgreich eine Komponente wieder zusammenbauen, erhalten Boni, sagten die Personen.

Huawei-Wissenschaftler schlafen vor Ort

Während das EUV-Projekt von der chinesischen Regierung geleitet wird, ist Huawei in jeden Schritt der Lieferkette involviert, vom Chipdesign und Fertigungsausrüstung bis zur Herstellung und endgültigen Integration in Produkte wie Smartphones, so vier Personen, die mit Huaweis Operationen vertraut sind.

CEO Ren Zhengfei informiert hochrangige chinesische Führer über den Fortschritt, so eine der Personen.

Die USA setzten Huawei 2019 auf eine Entitätsliste und verboten amerikanischen Unternehmen, ohne Lizenz Geschäfte mit ihnen zu machen.

Huawei hat Mitarbeiter in Büros, Fertigungsanlagen und Forschungszentren im ganzen Land für die Bemühungen eingesetzt. Mitarbeiter, die Halbleiterteams zugewiesen werden, schlafen oft vor Ort und dürfen während der Arbeitswoche nicht nach Hause zurückkehren, wobei der Telefonzugang für Teams, die sensiblere Aufgaben bearbeiten, eingeschränkt ist, so die Personen.

Innerhalb von Huawei kennen nur wenige Mitarbeiter den Umfang dieser Arbeit. „Die Teams werden voneinander isoliert gehalten, um die Vertraulichkeit des Projekts zu schützen", sagte eine der Personen. „Sie wissen nicht, woran die anderen Teams arbeiten." – Rappler.com